廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 維修進(jìn)口真空泵
當(dāng)停泵后,碳氧化合物返流很快通過(guò)泵進(jìn)入直空室內(nèi),如果系統(tǒng)仍保持在直空狀態(tài)下,碳?xì)饣衔飳?huì)粘在清潔的葉片和直空室的表面上,在隨后再運(yùn)轉(zhuǎn)該系統(tǒng)時(shí),將極難抽除粘著的碳氧化合物,另一方面,在渦輪分子泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí),如果給泵充入干燥氙氣或干燥空氣,剛該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護(hù)層,而且在系統(tǒng)充氣后,返流的碳氧化合物由于與充入的氣體混合起來(lái),從而它的粘著能力很弱,在混合氣體中碳氧化合物所占比例*小,在下一次抽空時(shí)也很快就能被抽走。
一般導(dǎo)致真空泵無(wú)法正常啟動(dòng)的原因
1、驅(qū)動(dòng)電機(jī)電壓不正確或過(guò)載。維修進(jìn)口真空泵
解決辦法:提供電機(jī)正確的電壓。
2、電機(jī)啟動(dòng)器過(guò)載保護(hù)太小或設(shè)定值太低。
解決辦法:將電機(jī)啟動(dòng)器過(guò)載保護(hù)的設(shè)定數(shù)據(jù)與電機(jī)銘牌的數(shù)據(jù)相對(duì)照,必要時(shí),請(qǐng)校正。如果環(huán)境溫度較高:可將設(shè)定值根據(jù)正常電機(jī)電流提高5%。
3、保險(xiǎn)絲熔斷。
解決辦法:檢查保險(xiǎn)絲。維修進(jìn)口真空泵
在何處充氣
在渦輪分子泵的前級(jí)側(cè)充氣,能強(qiáng)制使碳氧化合物立刻通過(guò)渦輪分子泵流入真空室。另一方面,若在渦輪分子泵吸入側(cè)充氣,能達(dá)到以清潔氣體蕩蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵(自上而下),能暫時(shí)阻止、延遲碳?xì)浠衔锏姆盗?,也有些渦輪分子泵在壓縮級(jí)之間進(jìn)行中間充氣,它和在吸入側(cè)充氣控制碳?xì)饣衔锓盗鲙缀跬瑯佑行?。在超高真空系統(tǒng)中,在壓縮級(jí)充氣尤其*越。因?yàn)橹虚g充氣不需要價(jià)格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。維修進(jìn)口真空泵
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 高真空分子泵維修
在某些中真空應(yīng)用中,需要進(jìn)入10-1Pa范圍,這對(duì)羅茨泵的二級(jí)機(jī)組往往難于實(shí)現(xiàn),而使用二級(jí)羅茨泵串接的三級(jí)機(jī)組可使真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)而進(jìn)入10-1Pa,所以中真空應(yīng)用也常用三級(jí)機(jī)組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速,所以亦可以在三級(jí)中真空機(jī)組中取代兩級(jí)羅茨泵。一般地講,長(zhǎng)時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵,分子增壓泵可以完全取代。而長(zhǎng)時(shí)間工作在中真空*端壓力范圍的羅茨泵相對(duì)而言應(yīng)該較少,因?yàn)檫@一壓力范圍前級(jí)泵往往還具有強(qiáng)勁的抽速。高真空分子泵維修
一、真空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)使用時(shí),每三天對(duì)以下內(nèi)容進(jìn)行一次點(diǎn)檢:
A、泵油是否在游標(biāo)范圍以內(nèi)
B、泵油是否有變黃變黑、混濁現(xiàn)象
C、聲音是否出現(xiàn)異響
D、真空泵運(yùn)行時(shí)是否出現(xiàn)漏油
當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí),可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,單級(jí)泵往往不能滿足,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦,可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。高真空分子泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵養(yǎng)護(hù)維修
旋片泵的抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下:在入口壓強(qiáng)為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下,其抽速值分別不得低于泵的名義抽速的95%、50%和20%。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
旋片泵主要由泵體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內(nèi)偏心地安裝一個(gè)轉(zhuǎn)子,轉(zhuǎn)子外圓與泵腔內(nèi)表面相切(二者有很小的間隙),轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉(zhuǎn)時(shí),靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內(nèi)壁保持接觸,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
4、雜音振動(dòng)----管路支撐不穩(wěn),潤(rùn)滑油混有氣體,產(chǎn)生汽蝕,軸承損壞,電動(dòng)機(jī)超載發(fā)熱運(yùn)行穩(wěn)固管路,提高吸入壓力排氣,降低真空度,更換軸承,調(diào)整按電動(dòng)機(jī)發(fā)熱方法排除5、電動(dòng)機(jī)發(fā)熱----流量多大,超載運(yùn)行,碰擦,電動(dòng)機(jī)軸承損壞,電壓不足,關(guān)小出口閥,檢查排除,更換軸承,穩(wěn)壓6、泵浦漏油----機(jī)械密封磨損,泵體有砂孔或po裂,密封面不平整,安裝螺栓松動(dòng)更換密封套件,修補(bǔ)泵浦,修正密封面端面,緊固螺栓。真空泵養(yǎng)護(hù)維修
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